二手 CANON FPA 2000 i1 #9298396 待售

CANON FPA 2000 i1是一種晶圓步進器，在場應用為1：1，數值孔徑為0.50，工作距離為2.6mm。該產品旨在精確加工各種半導體晶片。它用途廣泛，可以處理從150 nm到6.5微米的各種半導體場應用。佳能FPA2000-I1為加工各種半導體晶片提供了高精度和分辨率。該設備是雙模的,允許單個和多個晶圓處理。單晶片采用30 Hz的工藝速率，處理多個晶片時每小時最多800個晶片。FPA-2000I1利用激光對準來確保圖樣和標線放置的準確性。FPA2000-I1有一個保持19 ± 4°C溫度和45 ~ 65%相對濕度的大氣控制系統。它配備了1.0至12.5 x的直流放大倍率,以及0.3 nm的XY分辨率,非常適合任何精度和精度至關重要的應用。FPA-2000 I1還具有EPI/離子植入能力、空氣軸承光束掃描、400倍放大時1%的低總諧波失真、控制雜光的離軸照明和紫外線光纖操作等特點。晶片步進器配備了四步對準，在處理晶片時保證了高度的精度。此外，這臺機器設計用於潔凈環境，能夠進行化學濕蝕刻。它有一個內置的自動楔形機，以減少準備晶片處理所需的時間。CANON FPA-2000 I 1具有用於發出警告通知的LED條顯示屏和用戶友好的IC程序員。最後，FPA 2000 I1是一種光學晶片步進器，設計用於處理廣泛的半導體晶片應用。它具有很高的精度和分辨率、雙模操作、激光對準、EPI/離子植入能力等特點。此外,其大氣控制系統、四步對準、LED條形顯示屏和用戶友好的IC程序員使該設備非常適合清潔環境。