二手 CANON FPA 2000 i1 #9313277 待售

CANON FPA 2000 i1是晶圓步進器，一種用於制造半導體器件的高精度儀器。為了提高半導體器件生產工藝的效率和精確度，該設備設計用於對準和定位單個和多個晶片。CANON FPA2000-I1配備了高度靈敏、精確的XY掃描級，用於將圖樣特征與晶圓圖樣精確對齊。該級由高分辨率直接驅動馬達驅動，在WAAM（晶圓對準和掩蔽）過程中實現精確的掃描。此外,系統還配備了一個檢查攝像頭單元,該單元使用專有軟件檢查復雜的晶圓圖樣是否有缺陷或變化。FPA-2000I1的現場面積足以使各種處理器在單個晶片上陣列化。它具有高分辨率圖像傳感器和實時處理機，提供極高分辨率的單圖案。此外,它還配備了鹵素高照明燈,可支撐各種晶圓基板的尺寸和形狀,從而提高生產效率。FPA 2000 I1還具有高速矢量步進算法，可實現高速光刻曝光。位於XY級底部的是一個長長的真空槽,它配有多個吸盤,能夠在整個曝光過程中安全、穩定地處理基板。這種高精度工具由CANON EDS-2（曝光數據存儲資產）和CANON PST-3（工藝備用工具）管理，提供精確的晶片邊緣檢測、晶片運動過度阻尼和晶片級缺陷檢查。CANON FPA 2000 I1還具有溫度穩定的環境，以確保在不同的環境環境下一致運行。簡而言之，FPA-2000 I 1是一種高精度晶圓步進器，旨在支持特殊半導體器件和電路的制造。是高速、精確晶圓對準和加工的理想儀器。它配備了精確的XY掃描階段和長長的真空槽，並通過CANON專有軟件程序進行管理。