二手 CANON FPA 2000 i1 #9313447 待售

CANON FPA 2000 i1是一種晶圓步進器，用於半導體工業中，用於精細的成型和制造集成電路。它是一個4束投影步進器，最大曝光面積為20mmx10mm。佳能FPA2000-I1內置多波長照明設備，利用ArF（193nm）和KrF（248nm）準分子激光器，以及紫外線激光器。這使得晶片步進器可以優化曝光時間，並實現不到1微米的高分辨率進行精細成像。曝光頭還具有6軸級,最大速度為10mm/sec,精度為0.1mm,確保晶片的精確對準和定位,以實現最佳的陣列設計。FPA-2000I1采用模塊化1幀光學系統設計,可簡單地集成到其他系統（如計量或檢查工具）中。它還提供高分辨率、高動態範圍和非常低的失真。該單元使用最大NA為0.4和可調Z聚焦的可變數值孔徑（NA）物鏡以及數字對準模塊。這種功能組合允許曝光校正,並實現高精度成像。CANON FPA-2000 I 1有一個內置的電動顯微鏡，可用於評估晶圓級的圖樣，以及測量圖樣的線寬或臨界尺寸。步進器還可以配備一個加固的安全機器，設計用來保護人員免受激光輻射。FPA-2000 I 1具有易於操作的界面,支持手動操作和基於配方的操作,可使用拖放接口進行編程。該工具還提供實時數據監視、記錄和分析。總體而言,FPA2000-I1是一個功能強大且精確的晶圓步進器,具有多種功能和緊湊的設計。它提供了出色的工藝控制，使高精度集成電路的設計和生產成為可能。