二手 CANON FPA 2000 i1 #9396114 待售

CANON FPA 2000 i1是利用i線的晶圓步進器，是CANON系列最具成本效益的主力。FPA 2000具有高分辨率和準確性,允許精確處理時間。i1型包括先進的掃描儀設備和CANON專有光學器件，用於改進邊緣清晰度。隨著激光對準和背光，它的穩定性水平保持非常低，允許最高水平的成功。它還集成了獲得CANON專利的ScanShift System,這有助於在步驟和重復應用程序中改進特征註冊。這些特性使得FPA 2000可以產生各種各樣的設備類型，包括高密度互連系統、高壓CMOS、非易失性內存和MEMS設備。其物鏡和光圈配置為對最小特征成像，最小線寬為0.18微米，對準精度<5 nm。佳能FPA2000-I1還具有改進的真空裝置，有助於減少顆粒汙染和進一步提高分辨率。其他值得註意的功能包括獲得專利的VLE Exposure Machine、完全集成的非接觸式計量概述工具、高級車載過程控制以及自動對齊資產。VLE模型不僅提供了很高的準確性和可重復性，而且還被證明可以消除在不同基板上可能出現的光刻的全面變化。FPA 2000包括一個界面模塊和一個觸摸屏界面,用戶可以輕松定制其曝光配方。它的高級控制屏幕允許用戶訪問與其流程相關的所有信息，並控制各種參數，包括：聚焦位置、磁場展平、曝光能量和光學元件的位置。此外，界面模塊還允許用戶將多個配方綁定到一起進行快速處理。FPA-2000I1的精確度使其成為滿足先進生產需求的絕佳選擇。它是一系列應用的理想解決方案,例如制造高密度和MEMS設備。憑借其穩定的領域，它能夠應對最具挑戰性的產品，而且也非常可靠。