二手 CANON FPA 2500 i2 #293608643 待售

CANON FPA 2500 i2是為生產環境設計的晶圓步進器。它利用二維對齊方法，在晶圓表面上準確地創造出高產率的精確圖樣。這臺最先進的機器最大分辨率為0.3um，現場尺寸為9.6mm x 9.6mm。CANON FPA-2500I2的主要應用是在精細的制圖任務以及對多種材料進行光刻工作，包括金屬、GaAs和SOI。FPA-2500 I2配備了專有的佳能投影光學設備，包括埃德蒙光學柔性放大系統。此單元提供高分辨率成像功能,並允許快速、可重復的對準和曝光。投影光學機器操作在250毫米螢石透鏡和LaB6陰極電源。FPA 2500 i2具有用於掩碼對齊的高分辨率成像工具。該資產利用四個CCD攝像機來確定遮罩圖案在晶圓表面上的精確位置。可以快速校準調整校準模型，使掩模圖案與晶片精確對齊。此外,成像設備具有0.24秒的快速窗口捕獲時間,並提高了8M像素分辨率。為了提高可靠性，FPA 2500 I2有一個膠片重量傳感器系統，可以自動調整以校正不同的膠片重量。它還有一個自動清洗裝置，減少循環時間和防止灰塵汙染光學器件。CANON FPA-2500 I2是一種強大而高效的晶圓步進器。其Edmund Optics Flexible Magnification Machine可以提高產量，而其薄膜重量傳感器工具、自動清洗資產和先進的對準模型則確保精確和可重復的圖樣結果。這種晶片步進器是一種高度可靠和高效的工具，用於先進的光刻和精細的圖樣設計應用。