二手 CANON FPA 2500 i2 #293807999 待售
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ID: 293807999
優質的: 1994
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Control rack
Console rack
Reticle charger
Wafer loader
1994 vintage.
CANON FPA 2500 i2是一種高度精確的晶圓步進器。它是專門為滿足高精度晶片生產的要求而設計的。該晶片步進器具有0.2 μ m的驚人分辨率,使其能夠以最小的邊緣損耗將圖樣精確傳輸到晶片上。此外,CANON FPA-2500I2的最大曝光面積為直徑9英寸,允許生產具有復雜幾何形狀的大量晶圓。FPA-2500 I2采用了多種先進技術,以確保將圖樣傳輸到晶片時的準確性和可靠性。這些技術包括通過調整光束的曝光角度來防止狹縫曝光錯位的狹縫算法控制、優化曝光分布的掃描儀控制算法以及能夠曝光小直徑圖案和大直徑圖案的映射表圖案曝光。所有這些技術共同努力，以確保高質量、可重復的模式轉讓。除了晶圓步進模式傳輸的先進技術外，CANON FPA 2500 I 2還具有許多使其高度用戶友好的功能。這些功能包括類似Windows的圖形用戶界面、易於操作的高分辨率液晶面板以及用於曝光單元快速精確對準和定位的自動對準系統。這個曝光單元容納了一個Quartz燈冷鏡，它使用塗層來將熱曝光最小化，抑制曝光單元的變形，使圖案打印不會因為生產過程中的熱變形而失真。佳能FPA-2500 I2還擁有令人印象深刻的吞吐量，這要歸功於其快速、可重復的模式傳輸。這種晶片步進器能夠生產吞吐量高達每小時6,000 （300mm）晶片的晶片。這種吞吐量速率,加上其強大而精確的技術,使FPA-2500 I 2成為大容量晶圓生產的理想選擇。總之,FPA-2500I2是一個高度先進和高度可靠的晶圓步進器,具有多種技術以確保最高質量的模式傳輸和吞吐量速率。其用戶友好的特性和快速的生產速度使其成為大批量晶圓生產的理想選擇。
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