二手 CANON FPA 2500 i2 #9033675 待售

CANON FPA 2500 i2晶圓步進器是為高精度半導體制造而設計的下一代光刻設備。該系統配備了可控範圍大的高精度執行器、具有先進光學元件的投影單元以及優越的照明機器。CANON FPA-2500I2設計用於從亞微米到幾百微米寬的先進光刻工藝，可重復精度低至0.5 nm。該工具采用雙壓力空氣軸承致動器，利用氣壓以亞微米步長精確移動晶片。由於它的可控範圍很大，它可以用來處理各種各樣的，寬達幾百微米的圖樣，非常尋求可重復性。該資產具有由獨特的先進光學系統組成的投影模型，提高了光刻產品的精度。此外,它還采用了先進的照明設備,利用具有先進相移和點亮掩模結構的環形狹縫,可提高景深和圖像分辨率。此外,FPA-2500 I2晶圓步進器還包括許多安全功能。它使用自動掃描內光學力監視系統,防止在曝光步驟中表面損壞或破壞矽層,在成像開始之前檢測壓力的任何變化。晶圓步進器設有精密觀測單元，可以控制機器溫度，實時監控缺陷。總體而言，FPA-2500 I2是一個優越的晶圓步進設計用於精密光刻應用，如半導體制造。它利用雙壓力執行器和優越的光學元件，保證了納米級的詳細、可重復的精度。此外，它的安全特性確保操作員能夠享受一個簡單可靠的操作與質量的結果。