二手 CANON FPA 2500 i2 #9238502 待售

CANON FPA 2500 i2是用於半導體晶片光刻加工的全自動高通量步進器。設備由先進的全反射光學系統組成，工作距離大，數值孔徑大。這使設備能夠處理直徑最大為200 mm且外部形狀公差最大為3 µm的晶片。晶片安裝在機器上,使用帶有6軸傳感器和張力計的真空接觸級,以確保晶片整個表面具有穩定、可重復的圖像。該工具采用低速和高速模式匹配技術相結合的高級對齊階段，再加上多種曝光技術，可以對高分辨率模式進行可重復成像。該資產還配備了廣泛的曝光模式，如正常和快速曝光、暴露的現場縫合和陣列掃描，這使得即使是復雜結構的成像也能實現精確度和高通量。該模型采用了先進的圖像校準設備，以確保在多個晶片上產生的圖像保持一致。此外，系統還有一個熱管理單元，旨在減少溫度變化對暴露精度的負面影響。CANON FPA-2500I2還包括一個功能強大的微控制器,可實現可定制的操作員設置,一臺全自動晶片裝卸機,以及先進的曝光監控系統,可確保工具的可靠、可重復的性能。該資產能夠在200毫米（8英寸）晶圓尺寸的曝光劑量降至0.2J/cm ²時,以極高的精確度生成極其精確的光刻圖像。因此，3000i2是光刻應用的理想選擇，因為高密度圖樣的高速和精確成像是必不可少的。