二手 CANON FPA 2500 i2 #9298394 待售
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ID: 9298394
晶圓大小: 6"
優質的: 1993
Stepper, 6"
Power: 18.7 kVA
Reticle size: 6", CANON STD
Wafer feeder: Type-L
PA Unit: 6", O.F Type
Chamber: TBW-CD60
Illuminator: FPA-2500 i line
A Scope: i-line, TTL
T/Z-Tilt Unit: 3 (L,M,R)
Support mount: Servo passive damper
Lamp house: 1.5 kW
Electrical: 3Ø, AC 200 V, 50/60 Hz
1993 vintage.
CANON FPA 2500 i2晶圓步進器（Wafer Stepper）是一種精密光刻工具，設計用於通過光刻成像處理多種超細線、圖案和特征。該設備采用5兆瓦ArF準分子激光器，滿足超高精度電路和器件制造的嚴格要求。它能夠在各種基板上印刷各種微電子設備，包括SOC品種和醫療部件。該系統由幾個精密組件組成，如5兆瓦ArF準分子激光器、用於精密放置的XY級、光學精密透鏡和6軸機器人結構。ArF準分子激光器以193 nm的波長輸出，脈沖持續時間為10 ns，然後通過光學透鏡將激光束定向到基板上。一旦梁入射到基板上，XY級用於精確定位應用程序所需的整體圖樣。CANON FPA-2500I2的6軸機器人結構是為最佳利用激光的能力而設計的。機器人采用多軸步進驅動器，允許亞微米定位，最大掃描速度為100,000mm/s。這樣就可以在大面積分散場陣列中高精度放置特征。它還提供了多個並行掃描選項,允許在多個方向同時掃描。FPA-2500 I2晶片步進器為納米加工需求提供了一個極好的選擇。其精確度、速度和柔韌性的結合，使其成為微電子和醫療部件生產的理想解決方案。該單元還提供各種後處理功能，如光束分析儀和一個集成的微型平面機。此外，這臺機器還配備了CCD攝像機和柵格激光對準工具，兩者都能有效地配準大面積圖樣。
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