二手 CANON FPA 2500 i2 #9298398 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9298398
晶圓大小: 6"
優質的: 1994
Stepper, 6"
Power: 18.7 kVA
Reticle size: 6", Canon STD
Wafer feeder: Type-L
PA Unit: 6", O.F Type
Chamber: TBW-CD60
Illuminator: FPA-2500 i line
A Scope: i-line, TTL
T/Z-Tilt Unit: 3 (L,M,R)
Support mount: Servo passive damper
Lamp house: 1.5 kW
Electrical: 3Ø, AC 200 V, 50/60 Hz
1994 vintage.
CANON FPA 2500 i2是一種先進、半自動化、光學、晶圓步進器，用於研發實驗室以及工業環境。這款設備配備了幾個令人印象深刻的特點，針對效率和準確性進行了優化。例如，集成反射超高NA （Ref-SHNA）光學設計旨在產生比傳統光刻系統更高的數值孔徑。這樣可以產生較小的特征尺寸,從而提供更高的分辨率和更高的精度。此外,此設計有助於最大限度地減少衍射、散射和噪聲,從而提高整體性能。該機裝有激光劃線器，具有用於減少劃線操作過程中的振動誤差的減振系統。這樣可以減少散焦和汙染,同時提高管線的精度。激光剪刀還具有先進的設計，包括切割和閃爍的三個維度，提供更大的控制和精度。CANON FPA-2500I2能夠在直徑達200毫米的大面積上成像,該機器還能夠在不同方向上成像,如向前、向後和旋轉,以實現精確對齊。該單元配備了自動晶圓處理機，實現了精度和精確度的高速工藝。此外,此工具還提供了一個簡化的用戶界面和觸摸屏顯示屏,便於操作,以及針對特定模式進行微調的定制配方。此外，還為陽性（PR）或陰性（NR）抗藥劑提供了便利，並提供了實施各種液體的能力。FPA-2500 I2為各種研究、開發和生產應用提供了極為通用的光刻資產。憑借其先進的功能和令人印象深刻的功能,此模型是創建高收益率的高精度陣列的完美工具。
還沒有評論