二手 CANON FPA 2500 i2 #9298425 待售

製造商
CANON
模型
FPA 2500 i2
ID: 9298425
晶圓大小: 6"
優質的: 1994
Stepper, 6", parts system Power: 18.7 kVA Reticle size: 6", CANON STD Wafer feeder: Type-L PA Unit: 6", O.F Type Chamber: TBW-CD60 Illuminator: FPA-2500 i line A Scope: i-line, TTL T/Z-Tilt Unit: 3 (L,M,R) Support mount: Servo passive damper 4 Lamp house: 1.5 kW Electrical: 3Ø, AC 200 V, 50/60 Hz 1994 vintage.
CANON FPA 2500 i2晶片步進器是一種精密器件,主要用於集成電路的制造。具體來說,它是一種光學步進器,這意味著它使用光來將圖樣成像到標線臺上,以便打印到晶圓或其他基板上。這種步進器使用高功率的200瓦YAG激光器以高達0.5 µm的分辨率對其標線進行制圖,從而可以對其源圖樣進行高度精確的成像。為確保精度,它有一個定位系統,具有電動Z-Axis,用於移動標線並與晶片正確對齊。該機由金屬和復合材料混合而成,強度巨大,可靠性更高。該設備的光學元件由折射元件、衍射元件和其他高性能元件組成,可實現卓越的成像效果。此外,借助尼康無塵室將光學器件保持在恒定的環境中,該室可清除可能造成成像錯誤的碎片和汙染物。CANON FPA-2500I2與所有DUV/NUV光刻系統兼容。這種晶片步進器具有高精度的控制和精確的成像能力,無論是在矽片、芯片還是類似的基板上打印,都能產生異常復雜的圖像。機器有兩個串行端口,可用於連接外部控制器,允許處理圖像,然後發送到步進器。此外,還包括CD-ROM驅動器和2.4 Gb硬盤驅動器,使用戶能夠備份和快速加載數據。最後,機器的額定運行溫度可達35°C,因此操作員可以在相對溫暖的環境中工作而不會影響結果。最後,FPA-2500 I2晶片步進器是一個令人印象深刻的設備.它結合了可靠的硬件和復雜的光學元件,成為制造集成電路和其他精密應用的頂級選擇。
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