二手 CANON FPA 2500 i2 #9298434 待售

製造商
CANON
模型
FPA 2500 i2
ID: 9298434
晶圓大小: 6"
優質的: 1994
Stepper, 6", parts system Power: 18.7 kVA Reticle size: 6", CANON STD Wafer feeder: Type-L PA Unit: 6", O.F Type Chamber: TBW-CD60 Illuminator: FPA-2500 i line A Scope: i-line, TTL T/Z-Tilt Unit: 3 (L,M,R) Support mount: Servo passive damper 4 Lamp house: 1.5 kW Electrical: 3Ø, AC 200 V, 50/60 Hz 1994 vintage.
CANON FPA 2500 i2是為先進半導體生產而設計的高性能晶圓步進器。這臺機器有助於生產線寬更細、產量更高、輸出壓力敏感的設備。該設備背後的專有技術基於CANON久經考驗的iTRACT(圖像傳輸、註冊和控制技術),它為用戶提供了出色的陣列精度和可重復性。CANON FPA-2500I2具有廣泛的曝光模式,包括常規的全場步進、重復掃描(RS)步進和廣域掃描(WFS)步進。該系統的RS模式允許用戶同時處理晶片的暴露和未暴露區域,協助生產復雜的設備結構。該單元的世界糧食首腦會議模式在處理各種叠加階段時提供了靈活性,與傳統步進系統相比顯著提高了吞吐量。FPA-2500 I2還配備了剝離曝光模式(PEM),允許用戶高精度控制多層叠加。這臺機器擁有2.5 x 2.5 µm的imaging_field_area,用戶可以根據每個PE模式層調整光束大小。CANON FPA-2500 I2還為用戶提供了調整曝光時間和光線強度的能力。CANON FPA-2500 I2的多功能性和性能使其非常適合先進的電路制造。此工具為用戶提供了出色的步進精度,使他們能夠使用具有挑戰性的結構並降低與掩模制造相關的成本。該資產還為用戶提供了廣泛的曝光模式,使他們能夠快速高效地工作。FPA-2500I2是生產半導體器件的絕佳工具。
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