二手 CANON FPA 2500 i2 #9298440 待售

CANON FPA 2500 i2是為高通量晶圓生產而設計的高端步進重復晶圓步進器。它能夠處理直徑從150 mm到450mm的晶片,提供前所未有的精度、可重復性和吞吐量。它快速的掃描時間使其成為半導體工業中使用的底物的理想選擇，同時也是快速原型制作和大批量生產的絕佳選擇。佳能FPA-2500I2晶片步進器利用專用聚焦離子束（FIB）設備將每個晶片精確放置在參考平面上。集成的高分辨率成像系統進一步有助於確保每個晶片的精確放置。為確保精度和可重復性,FPA-2500 I2配備了由兩臺電動機組成的級驅動單元,用於將晶片定位在X軸和Y軸上。此外,該機器的設計可接受60至160°C的晶圓溫度,從而允許沈積和加工溫度適合各種應用。光學成像工具由一個10倍的微距物鏡和兩個平面（遠心）透鏡組成，它們支持一個獨特的傳感器，像素大小為20 μ m。這提供了每個晶片邊緣的精確可視化，用於檢測和糾正錯位。這樣可以確保晶片在拍攝和隨後釋放晶片時具有良好的晶片形態和邊緣完整性。FPA-2500 I 2的其他功能包括優化的激光位移監視器、兩級冷卻設備和集成的Dewar法蘭,方便晶圓處理程序連接。FPA 2500 I 2也被構建為能夠一次處理最多三層晶片，最大負載容量約為500公斤（7.5噸）。FPA 2500 i2是一種高級晶圓步進器，旨在滿足最苛刻的生產應用的需求。其高吞吐量和精確度使其適合高生產運行，而其先進的功能集和穩健的設計使其成為極端制造條件下晶圓生產的理想選擇。CANON FPA-2500 I2具有基於FIB的晶圓放置、高分辨率成像功能和靈活的溫度範圍,是任何生產設置的重要工具。