二手 CANON FPA 2500 i2 #9314257 待售
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CANON FPA 2500 i2是用於制造半導體器件的晶圓步進器。CANON前步進器的下一代型號FPA 2500i, CANON FPA-2500I2是一種步進重復工具,旨在在矽片表面上繪制圖樣。使用193-nm光掩模時,此工具可達到高達3微米以下的分辨率水平。該機配備了Elect La Rival Multi Dynamic Focus Aiming設備和Maximum Efficiency Catadioptric（ME2）鏡頭兩個先進的光學鏡頭。La Rival系統的設計提供了卓越的叠加精度，並且能夠在整個曝光範圍內保持其準確性，而不僅僅是一個區域，使得更大的標線可以使用廣泛的鏡頭。ME2透鏡是一種功能強大的設備,與以前的系列透鏡相比,它提供了降低像差、提高分辨率和降低振動靈敏度的組合。FPA-2500 I2還集成了創新和高度可靠的光刻特性。其中包括基於CANON專有技術稱為「深度監測」的高速散焦檢測裝置，協助晶圓光刻工藝的規格精確的聚焦機，以及為確保超精確光刻對準而設計的高精度階段定位裝置。CANON FPA 2500 I 2還可以提供整個曝光場的精湛均勻性。CANON新的「i-Uniformity」技術實現了這一點,該技術可逐步監控流程,以提供高度可重復、高精度的成像。此外,CANON FPA-2500 I2不需要在批次之間進行校準,使其成為更可靠、更高效的工具,並確保更高的產量。FPA-2500 I 2還旨在通過提高清潔度和提供多種沈積選項來縮短周期時間。所有這些特點和優勢使得FPA 2500 I 2成為了一個出色的工具，以生產具有挑戰性的半導體器件。
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