二手 CANON FPA 2500 i2 #9384740 待售

CANON FPA 2500 i2
製造商
CANON
模型
FPA 2500 i2
ID: 9384740
Stepper Process: Photolitho.
CANON FPA 2500 i2是用於高端半導體加工的晶圓步進器。它是佳能公司為生產復雜集成電路而開發的一款頂級機型,受到微芯片制造商的高度追捧。該設備的內置步進和重復對準系統能夠蝕刻2.5微米的微小特征。它還具有自動晶片對準單元和高精度步進級,用於晶片在加工過程中的精確運動。本機利用兩個光頭,提供多個成像平面同時對準和監測。這使得光刻晶片的對準和定位具有很高的精度和重復性。晶圓步進器與CANON的專有成像技術(如激光捕獲方法(LCM))集成在一起,旨在最大限度地減少生產過程中可能造成缺陷和錯位的因素。它還具有一個獨特的「自動開關」功能,該功能在暴露遮罩層和將晶片暴露於適當的波長以進行蝕刻層圖樣之間自動切換,無需任何用戶幹預。該工具還配備了激光監視器資產和反射放大和減少模型,允許更廣泛的曝光控制。這確保了即使是最復雜的電路的高質量成像。CANON FPA-2500I2還具有多向雙區域掃描控制階段。這有助於確保基板的精確對準,而不會產生抖動或振動,並提高吞吐量以提高生產效率。該設備還支持廣泛的材料,包括石英、玻璃和其他用於制造復雜集成電路的專用基板,能夠對雙面晶片進行復雜的曝光和蝕刻。該系統還具有內置真空裝置,有助於減少晶片加工過程中的氣體汙染,從而獲得更可靠的光潔度。總體而言,FPA-2500 I2晶片步進器是高端集成電路制造的絕佳選擇。它具有多種特性和功能,可確保復雜電路設計的準確生產,其先進的成像技術可提供精確的曝光控制,達到微觀水平。
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