二手 CANON FPA 2500 i3 #293595403 待售
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ID: 293595403
優質的: 1995
Stepper, 6"
Reticle size: CANON STD, 5"
Wafer feeder: L-Type
PA Unit: O.F Type, 6"
Chamber: TBW-CD73
Illuminator: FPA-2500 i-line
Console version: V 5.20 A
A Scope: i-Line, TTL
O/Z-Tilt unit: (3) Piezo stacks (L,M,R)
Support mount: (4) Servo passive dampers
Rated power: 18.7 kVA
Lamp house: 1.5 kW
Power supply: 200 V, 50/60 Hz, 3 Phase
1995 vintage.
CANON FPA 2500 i3是為生產先進半導體器件而設計的高性能、高精度、不斷改進和升級的晶圓步進器。晶片步進器（wafer stepper）是一種光刻工具，用於通過一次有選擇地曝光晶片的部分來將圖像傳輸到矽晶片上。佳能FPA-2500I3配備了4kW激光曝光源，能夠掃描寬達300毫米的晶片。該機器可以將圖樣應用於厚度為0.22um、厚度為0.25um的晶片,從而提供高精度曝光和無與倫比的精度和分辨率。步進器具有多種功能,可確保高度自動化和高效曝光,包括14英寸全彩色液晶面板和圖形用戶界面,以及復眼家庭定位查找器。機器以「逐方」的曝光風格運作，允許快速精確的晶圓對準。此外,它還利用自動曝光系統,允許精確曝光時間,並自動調整曝光,以防止任何曝光錯誤或圖像質量問題。FPA-2500 I3的其他特點包括寫速快、低背景噪聲光束、低溫閃光燈和新設計的光束傳輸系統。此功能可確保極短的寫入時間以及完全控制曝光時間。該機器設計用於快速高效的生產過程,需要最短的轉換時間,並允許同時進行多次曝光。總的來說,FPA-2500 I3是一個特殊的晶圓步進.憑借其先進的特性、高分辨率和高精度的曝光,它能夠提供高吞吐量的優異效果。該機器非常適合生產先進的半導體器件,其獨特的功能使其非常適合在當今繁忙且高度自動化的生產環境中使用。
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