二手 CANON FPA 2500 i3 #293601755 待售

CANON FPA 2500 i3是一種浸入式晶圓步進器，允許高分辨率圖樣的精密光刻工藝。步進器通過遮罩將光投射到塗有光刻材料的晶片表面上。該機器能夠產生分辨率為0.25-1.0微米的圖樣。CANON FPA-2500I3的平臺設計輕巧靈活，允許機器在多種設置中使用。該機器支持幾種光學系統,例如：i-LINE、DUV和DUV ArF。面罩采用6英寸渦輪旋轉標線，以提高生產率和更小的圖案覆蓋。此外,步進器還具有較大的工作表面,允許處理更大的晶圓。為了防止表面汙染,機器的光學器件設計為液浸和封閉。為了進一步保護光學器件，將電離器集成到機器中，以消除環境中的靜電。這樣可以確保圖像質量不受幹擾。機器還有一個ACR（防汙染-反射）單元，有助於將空氣中的顆粒量減少95%。高吞吐量是CANON FPA-2500 I3的主要目標,並且該機器配備了多種功能來幫助實現這一目標。相機裝有一個五芯片CCD傳感器，能夠更快地捕捉圖像。步進器可以處理多達170個晶圓/小時，同時允許出色的圖像保真度和產生高分辨率的圖樣。為了進一步提高吞吐量,該機器采用了CANON「自動對焦和對齊」功能,可以快速、準確地對齊掩模和晶片。機器使用板載計算機運行，該計算機連接到所有各種運動控制器。這種集中控制系統提供了高精度和精確度。此外,計算機還具有內置通信接口,可用於遠程操作、數據傳輸和機器診斷。作為安全措施，機器還有一個防撞裝置，防止機器在用戶正確驗證所有對齊參數之前移動。總體而言，FPA-2500I3是精密光刻工藝的絕佳機器。它高度自動化,能夠產生高質量、高吞吐量的高分辨率模式。機器的靈活性和安全特性使其成為許多不同類型應用的理想工具。