二手 CANON FPA 2500 i3 #293646546 待售
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CANON FPA 2500 i3晶片步進器（Wafer Stepper）是一種先進的光刻工具，設計用於半導體晶片上的圖樣精度特征。它配備了精密的光學和精密掃描階段，以實現高分辨率的成像和嚴密的幾何精度。CANON FPA-2500I3利用248-nm氟化物準分子激光源（KrF）產生光束，可以通過高性能光學器件成形並定向到所需的基板區域。步進器提供了從0.30到0.50的可變數值孔徑（NA）功能,從而實現了具有不同陣列應用範圍的亞微米分辨率成像。FPA-2500 I3具有雙車道傳輸系統,可實現最大吞吐量和準確性。CANON FPA-2500 I 3與先進的晶圓對準系統配合使用，保證了晶圓的精確定位，以實現高精度的圖樣設計。它還配備了先進的圖像處理和先進的基於矢量的圖樣處理能力，使其適合晶圓檢測、關節切割和高精度光纖圖樣書寫應用。步進器的設計也考慮到了機械的可重復性，並且能夠以高度的精確度一致的模式化關鍵特征。此外,它還可以提供長期可靠性以及易於維護和操作。憑借靈活的設計，CANON FPA 2500 I 3能夠支持各種精密的應用，包括IC封裝、微機電系統（MEMS）和陶瓷技術應用。它是大批量生產光掩模和晶圓光刻的理想選擇。
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