二手 CANON FPA 2500 i3 #293736139 待售
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CANON FPA 2500 i3是用於半導體器件制造的晶圓步進器。此工具在生產環境中提供領先的光刻性能。CANON FPA-2500I3提供了快速的模式化率、精確的對齊和高產工藝。它為0.2至0.3微米的圖案特征尺寸提供了卓越的曝光精度,非常適合IC封裝、MEMS和LED光學屏蔽等多種工藝。FPA-2500 I3具有廣泛的曝光特性,包括低陣列速度、高精度遮罩對準和均勻的光束形成。這樣可以確保制造過程各層的陣列精度,因此由於掩模缺陷,幾乎沒有變化。CANON FPA-2500 I3利用其專有的CANON精密對準系統（C-PAS）技術,可以在毫秒的沈降時間內實現納米級掩模定位精度。該系統的高精度直線電機伺服確保穩定和精確的晶圓傳遞無縫操作。FPA-2500I3具有3,725平方米的大曝光面積,可提供4束曝光,以減少陣列制作時間。它還具有高分辨率步進控制單元和4GB內存的快速FIB處理器,以確保可以將要處理的模式數量保持在最低限度。步進控制單元具有自我診斷功能，可自行執行故障診斷以實現快速維護。此外,CANON FPA-2500 I 3還為其曝光光學器件提供了較低的總運行成本和較高的吞吐量。該工具具有各種模式曝光的曝光條件和較低的擁有成本。而且，它與佳能和第三方供應商的一系列抗性材料兼容，使其成為先進半導體器件制造的通用高效工具。CANON FPA 2500 I 3是半導體生產市場必不可少的工具,為設備制造和封裝過程提供無與倫比的精度和精確度。其先進的陣列設計速率、高精度對齊和一流的曝光精度使FPA-2500 I 3成為各種設備應用的最佳選擇。
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