二手 CANON FPA 2500 i3 #293762557 待售
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CANON FPA 2500 i3是一種最先進的晶圓步進器，設計用於大直徑光掩模的圖樣，用於集成電路光刻。CANON FPA-2500I3擁有業界領先的高達1500毫米的掩模尺寸和0.75 µm的出色線寬分辨率,提供無與倫比的成像精度和高通量。FPA-2500 I3采用先進的成像和照明系統。包括針孔陣列的兩級相幹照明設備確保了成像場的優越均勻性，並消除了線擋和透鏡像差等幹擾元件的影響。該系統采用高精度的六腳架來精確控制照明場相對於遮罩基板的位置，以達到最大精度。佳能FPA-2500 I3還具有精確的舞臺控制和最高的精度.采用單片、超光滑的單件機械結構，具有先進的預補償機構，達到高精度的位置重復性和縱向精度，將單位像差降至最低。這使FPA 2500 i3能夠保證卓越的打印精度。此外,FPA-2500I3還提供了一套強大的維護和操作功能,使日常操作更輕松、更高效。其先進的Focus Monitor Machine使用光學傳感器和分析算法來精確跟蹤和監控相機參數如焦點深度、對比度和線寬，從而快速準確地完成成像和圖樣制作過程。總體而言,FPA 2500 I 3是一種強大而精確的晶圓步進器,旨在快速精確地繪制用於集成電路光刻的大直徑光掩模。其一件式整體結構、先進的照明、成像和舞臺控制系統以及監控功能，使其成為任何數字半導體制造實驗室中必不可少的工具。
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