二手 CANON FPA 2500 i3 #293792039 待售

CANON FPA 2500 i3是液壓雙框架設計的晶圓步進器。它是一種先進的光刻設備，具有高精度、高吞吐量和低運行成本的獨特組合。佳能FPA-2500I3是一個高效的光刻系統，具有高分辨率的圖樣能力。它是半導體工業不可或缺的一部分，因為它能夠產生比傳統光掩模更精細的特征。FPA-2500 I3具有大規模的高吞吐量設計，標準膠片尺寸為5毫米，最大芯片尺寸可達8毫米。它具有0.50 μ m的亞微米特征大小的高分辨率，可以通過階梯式或可重復的線性運動和叠加能力相結合來實現。該單元還提供靈活聚焦和各種照明輪廓。CANON FPA 2500 I 3擁有由高性能元件和精密控制系統組成的健壯可靠的機器。它采用線性運動控制工具，可實現1 μ m的精確異質精度對準，並具有多次曝光能力，以提高圖像質量。該資產具有全面的主板和軟件,可實現高效的Web分析和圖像加載。Web自動化包括自動化Web處理、可變層厚度、過程控制穩定性和良好的特性分辨率。該型號還采用真空引擎蓋設計，在整個曝光窗口內提供出色的圖案完整性、穩定性和平整度，從而確保了完美的層狀圖案和時刻的正片塗層。此外,FPA-2500 I 3還具有多頻控制設備,即使在極端情況下也能確保無錯誤放置和陣列,並改進了過程控制。為準備下一代制造要求,CANON FPA-2500 I3可以使用最新的CANON技術輕松升級,從而為制造商提供滿足其生產需求的創新且經濟高效的優勢。憑借優美的曲線和優美的輪廓,FPA-2500I3無疑是一種光刻設備,能夠在不斷變化的半導體市場中實現多功能性、效率、準確性和成本效益。