二手 CANON FPA 2500 i3 #293809116 待售
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CANON FPA 2500 i3晶片步進器是一種高性能、高分辨率的光刻機，用於在0.25微米工藝節點生產小型半導體器件和元件。它具有先進的大視野步進器，利用i線光學器件以高精度和精確度在基板表面上生成圖樣。CANON FPA-2500I3具有9,500個步進像素,並具有主動對齊功能,可根據需要改進NA（數字孔徑）。這允許從晶圓到晶圓以及從批到批的精確、可重復的模式放置和叠加。它配備了1：1的投影鏡頭，允許生成均勻分布的圖案而無需藝術品。此外,i3步進器包含10倍級,非常適合大型晶片。FPA-2500 I3晶片步進器設計用於處理從4英寸到12英寸的各種基材。它配備了先進的成像設備，為不同的曝光提供最佳分辨率。此外，步進器還包括一個氣刷模塊，用於在暴露前對基板進行整體烘烤和脫氣。FPA-2500 I 3能夠以每小時500晶片的速度運行,吞吐量高達每小時75晶片。FPA 2500 I 3晶圓步進器具有多區域溫度控制系統，為曝光環境增加了均勻性，確保了高精度和吞吐量。此外，步進器還包括一個低失真的抗振動單元，可減少基板中的熱失真。它還包括一個ActiveClean機器，以減少靜電，從而確保在制圖過程中的均勻性和準確性。CANON FPA-2500 I3晶圓步進器配備了用戶友好的操作工具，提供高效直觀的操作。此外,該資產還附帶一個專門的軟件套件,可幫助減少與測試和驗證新基板相關的時間和成本。CANON FPA-2500 I3電源經過優化,以實現可靠、一致的運行,降低了設置過程的復雜性。步進器帶有內置防腐機構和防塵設計，以提高可靠性和降低維護成本。
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