二手 CANON FPA 2500 i3 #293817809 待售

CANON FPA 2500 i3晶片步進器是光刻技術的重大飛躍。它被設計用於生產電子工業中高度復雜的集成電路。它的精確度和能力為最先進的集成電路的開發開辟了一系列新的可能性。CANON FPA-2500I3具有5微米的光斑尺寸，可達到約0.15微米的線寬精度和25 nm的覆蓋精度。此外，它可以在低劑量和高分辨率下分配多次曝光劑量，而不需要很長的聚焦時間。這使得它適合下一代的中高壓IC。FPA-2500 I3以157 nm波長運行，這使得它極其適合0.18 μ m至65 nm技術等應用。該工具具有很高的陣列均勻性,可補償高達0.30微米的對齊誤差。這樣就可以在不需要大量曝光的情況下生成高度精確的模式。步進器還配備了晶片級控制器，能夠進行快速晶片對準、自動對焦調節和晶片級數據采集。它具有一次管理多個晶片的能力，並且可以用最新的軟件和算法進行更新，以允許精度和精度的最高峰值。在生產力方面，FPA 2500 I 3是市場上最快的晶圓步進器之一。它的掃描速度高達120mm/sec，以其重量輕的平臺每小時可輕松執行高達150次晶圓掃描。這使得它適合於高輸出的制造設施。FPA-2500I3的能耗也很低,它具有節能功能,可最大程度地降低工具的能耗,同時仍能達到最佳性能。這有助於長期降低機器的運行成本。總體而言,FPA 2500 i3是先進的晶圓步進器,為制造下一代IC提供了卓越的精度和生產力。它的高級功能有助於最大限度地降低運營成本並確保一致和準確的結果。