二手 CANON FPA 2500 i3 #9229104 待售

CANON FPA 2500 i3是一種高精度晶圓步進器，用於微加工工藝。它是一種步進器，可以比傳統的基於電子束的掃描系統更小、更快地成像。佳能FPA-2500I3能夠在200納米的精確對準下預先對準曝光。設備采用0.48 NA照明系統，工作距離151毫米長。全視野為100毫米，全格式為2576毫米正方形。FPA-2500 I3具有半主動對準功能,可實現35mm透鏡分辨率。步進器本身是具有全自動對準單元的多場晶圓步進器。步進器結合了照明和光學機器，設計成在整個領域提供極其精確的對準。它有兩種折射成像模式，分別是NAI（正常區域照明）和EI（擴展區域照明）。NAI模式用於現場分辨率，EI模式用於實現高對比度分辨率。CANON FPA 2500 I 3步進器具有先進的自動化工具和大型環境室。這樣可以使重量完全穩定，即使在長時間的操作之後也是如此。自動化資產允許準確性和可重復性，這允許步進器在多個郵票上保持其準確性。FPA 2500 i3具有廣泛的曝光時間,允許進行廣泛的過程控制。它還提供了一系列掃描模式，如多級曝光、同時曝光和階梯式曝光。這允許與各種基材兼容。在成像精度方面，FPA-2500I3具有60納米特征配準精度。為了進一步保持圖像精度，步進器配備了兩微米法則，加上基於面積的自動對焦校正。這樣可確保提高曝光精度和對準精度的穩定性。步進器還配備了高曝光顯示器型號。這種設備使用戶能夠測量和監測暴露時間數據，還可以利用釀酒孔。此監控系統還允許自定義和可擴展的列控制。這樣可以更好地控制作業執行。總體而言，FPA 2500 I 3是一種先進的晶圓步進器，設計用於極其精確的微加工工藝。它具有廣泛的自動化功能,專為高精度成像而構建。它配備了確保精確成像以及擴展能力和過程控制的功能。