二手 CANON FPA 2500 i3 #9394903 待售

CANON FPA 2500 i3
製造商
CANON
模型
FPA 2500 i3
ID: 9394903
晶圓大小: 6"
Wafer stepper, 6".
CANON FPA 2500 i3是一種先進的晶圓步進器,提供可選擇的分辨率,從0.10 μ m到2.00 μ m不等。它旨在提供高模型精度和可重復性,從而能夠生產高質量的模具。佳能FPA-2500I3具有200 mm晶片級,具有高速X-Y級和集成晶片映射伺服,確保晶片在任何所需位置快速對準和定位。先進的光學平面卡盤,加上近距離掃描設備,有助於確保對準和定位的準確性。它還配備了橡膠晶片輸送系統,以快速準確地加載、運輸和卸載晶片。FPA-2500 I3最大照明功率為350mUV,最大磁場大小為18 x 18mm。它還配備了635nm激光束單元,具有卓越的光通量和改進的圖樣性能。使用高功率激光束可以保證更高的質量和精度,同時減少其總曝光時間。在光學對準方面,FPA 2500 i3具有精密準直器和掃描透鏡,以及光學像差校正系統。它還擁有一個雙折射透鏡機,這有助於減少像差和提高整體光學性能。最後,CANON FPA-2500 I3旨在滿足經濟高效、高質量的模具生產的嚴格實際性能要求。它針對無快門、連續重復曝光進行了優化,晶圓加熱和冷卻系統的結合確保了模具外形的一致性和通量的均勻性。FPA-2500I3是一種可靠且先進的晶圓步進器,可用於始終如一地生產高質量的模具。其精確對準和光學平坦卡盤,加上強大的激光束工具,確保精度和提高晶圓吞吐量。此外,增加無快門連續曝光和溫度控制系統可確保模具輪廓的均勻性和一致性,從而提高效率和成本效益。
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