二手 CANON FPA 3000 EX3 #293817789 待售

CANON FPA 3000 EX3是一種晶圓步進器，用於在半導體晶圓內制造微電路。它是一種高性能的對準設備，能夠在分辨率低於0.1米的矽片表面上產生微小μ結構。它是專為半導體工業而設計的，提供了設備特性和制造層的精確對齊。FPA 3000 EX3使用多種技術進行設備功能對齊和陣列化。它有一個自動校準系統，使亞微米精度和高精度。使用Nano-Finder III自動對準裝置，與傳統的對準系統相比，它具有50X和200X的優勢。這臺機器通過使用低透鏡光學工具來確保對準精度。CANON FPA 3000 EX3配備了晶圓裝卸的高精度級。它具有六軸微波器運動控制功能,允許沿XY平面在2軸上進行掃描和曝光功能,以及用於設備特征對齊的4軸晶圓對齊資產。該模型還結合了采用激光檢測和飛行時間（TOF）技術的高速特征識別設備。這項技術能夠確定設備尺寸和位置精度，直至亞微米級。FPA 3000 EX3提供了最大的技術靈活性,允許使用多種過程進行操作,從使用i-line、ArF或KrF步進源的光刻到先進的模式化過程（如二進制或quincunx）。這可以實現廣泛的半導體應用,如掩模對準器、曝光系統和深紫外線（DUV）步進器。此外，佳能FPA 3000 EX3具有先進的伺服控制和電機驅動技術，提供高精度的雙向運動控制，不損失精度和速度。該系統包括用於晶圓運動和實時圖樣運動和圖像采集的車載高級伺服單元。這樣可以確保快速準確的晶圓位置和模式識別。FPA 3000 EX3還提供許多用戶友好的功能,例如通過圖形用戶界面進行直觀操作和實時診斷。該機器允許簡單的晶片加載/卸載過程，具有自動晶片存在和邊緣檢測功能。它還具有預防性維護模式，確保可重復和可靠的操作。它還旨在方便地集成到其他制造過程中。總體而言,CANON FPA 3000 EX3是一種功能強大且精確的晶圓步進器工具,可提供出色的對齊和陣列精度以及高吞吐量。它專為靈活、易於安裝和維護而設計,非常適合高端半導體制造及其他高級設備特性和晶圓對準應用。