二手 CANON FPA 3000 EX3 #9077395 待售

CANON FPA 3000 EX3晶片步進器是一種最先進的光刻設備，設計用於快速、精確地在晶片上產生集成電路。它利用高分辨率光學成像系統與先進的晶圓級相結合，產生模具級精度。該裝置具有先進的幹玻璃管成像柱、大的12英寸工作區和可調節的臺階和重復循環時間。FPA 3000 EX3能夠支持多種範圍的標線和晶圓尺寸,最大可達180毫米。步進器利用先進的晶片級，以極高的精度、重復性和均勻性支持高達200 mm的晶片。該級包括三個線性驅動器和一個旋轉驅動系統,以實現平穩、精確的定位和掃描。舞臺具有可調的加速和減速輪廓，允許高速曝光應用。成像機采用先進的自動準直技術進行精確聚焦。這使CANON FPA 3000 EX3能夠產生線寬失真極低的高分辨率圖像。自動準直工具還提供可變聚焦速度和可重復性。成像資產與高速掃描驅動器配合使用,可實現最高200 mm/s的步進和重復掃描速度。該模型包括一個自動的標線對準能力，最大限度地減少了對手動晶片定位的需求。對齊設備允許在各種對齊偏移處多次曝光，而無需在舞臺上重新定位晶片。它還有一個板載晶圓映射系統，可以進行叠加測量和校正。FPA 3000 EX3擁有眾多智能特性和功能,非常適合半導體應用。它提供高吞吐量、同時多通能力、高產品產量、集成缺陷檢測和可定制的成像解決方案。該單元是生產LED、MEMS、RF IC等先進半導體產品的理想選擇。它在制造環境中提供卓越的最終產品性能、增強的工程能力和無縫集成。