二手 CANON FPA 3000 EX4 #136890 待售

CANON FPA 3000 EX4是一種全場投影對齊器（FFPA），提供各種光掩模和基板的精確對齊。這種晶片步進器是高精度光掩模和基板制造過程中必不可少的工具。該設備具有一系列令人印象深刻的特點，使其成為廣泛應用於光掩模、晶圓和光學/MEMS制造的寶貴工具。佳能FPA-3000EX4的主要優點是能夠將光掩模和基板精確對準納米精度。它配備了二維、非接觸式圖像感應系統，確保光掩模和基板的照明均勻、對準精確。這種精確的對齊方式允許電路模式、線條和邊緣等特征的精確對齊。FPA-3000 EX4具有很高的準確性、可重復性和吞吐量。該單元采用晶圓級前沿成像技術，提高了對準過程的精度和穩定性。這臺機器還提供了非常高分辨率的對準精度和精確補償暴露條件的變化，設置和樣本量。FPA-3000EX4還配備了一種全自動運動控制工具，可以在對準過程中準確定位光掩模和基板。先進的運動控制資產還通過精確控制移動速度和方向來確保高精度對準。自動化模型還配置為提供準確的對齊補償,從而提高流程精度。CANON FPA-3000 EX4還具有廣泛的電源和解碼器控制選項,允許用戶自定義曝光設置和參數。該設備還配備了用戶友好軟件，該軟件具有廣泛的圖形用戶界面（GUI），使操作和控制更加容易。該系統還提供了廣泛的功能，使其成為制造高級光掩模和基板的理想工具。該裝置有一個集成曝光機，為各種曝光應用提供晶圓的精確和受控曝光。該工具還提供自動數據計算和存儲,從而實現更高效的制造過程。資產還具有多種可選附件,使用戶能夠根據自己的確切需求定制模型。選項包括顯示器系統和精密模式調整硬件等附件,以及自動清潔硬件,使用戶能夠創建根據其確切要求定制的設備。FPA 3000 EX4是一種用於制造高精度光掩模和基板的功能強大且用途廣泛的工具。該系統高度精確的對齊方式,加上其廣泛的功能,使其成為各種光掩模、晶圓和光學/MEMS制造過程的寶貴工具。