二手 CANON FPA 3000 EX4 #293586146 待售

CANON FPA 3000 EX4是為生產半導體芯片而設計的高精度晶圓步進器。它能夠處理直徑達300毫米的晶片，並配有八通道、兩級光學設備，具有高精度和對準精度。此步進器還可以處理單個和多個曝光鏡頭,並能夠自定義處理過的晶片的曝光參數。CANON FPA-3000EX4采用新開發的矢量控制鏡頭移位系統和精細成像鏡頭設計。這樣可以確保在整個晶片上保持恒定的聚焦級別和一致的圖像質量。其集成的隔振裝置消除了暴露過程中的振動，最大限度地減少了由於熱漂移引起的溫度不穩定的阻尼時間。它還配備了高速I/O控制器，能夠在曝光過程中快速處理大量數據。為提高成像能力,FPA-3000 EX4安裝了新開發的EX4成像控制機.這提供了高度準確和可靠的圖像顯示,簡化了整個自動對齊過程。它還配備了新設計的高精度自動對焦工具（HPAS）,該工具旨在在晶圓厚度發生變化時找到最佳聚焦級別。FPA-3000EX4為優化能源利用提供了高效照明資產。利用它的六激光反射器，這步進可以達到高達7000 mW㎡的能量強度的光刻過程。其內置的微剪刀傾斜（Micro Scissors Tilt，MST）補償器通過快速準確地檢測射門的傾斜來防止曝光過程中的交叉斜率誤差。為了方便用戶，FPA 3000 EX4配備了用戶友好的顯示器，允許操作員在控制曝光參數的同時查看晶圓對準。它還具有預覽模式功能，允許用戶查看曝光前的鏡頭，以檢查處理過的晶片的對齊方式。這可以在制造過程中快速準確地定位曝光。為了提供穩定的晶片加工，佳能FPA-3000 EX4提供了一個空氣清潔控制功能，減少顆粒物汙染和優化其清潔環境，以保持一個幹凈的晶片表面。它也有一個氦氣交換模型，可以減少來自晶圓的X射線傷害。CANON FPA 3000 EX4是精密晶圓步進器所需的理想選擇,因為它具有可靠的性能、高速和精確的對齊方式。其綜合特性使其成為生產半導體芯片的絕佳選擇。