二手 CANON FPA 3000 EX4 #9359426 待售

CANON FPA 3000 EX4是為精密光刻而設計的高端晶圓步進器。由於它的亞微米精度，它能夠在晶片上產生超小的特征尺寸。它配備了先進的4室光學元件和幾個對準和計量裝置，用於快速對準和精細操作。該設備還集成了高速多軸設備，能夠長期穩定運行。裝置主體采用鋁、鋼筋塑料等耐用材料制成，長期使用，最大可靠性。其大型液晶觸摸屏允許用戶輕松地監控和控制設備。這個晶圓步進器裝有一個機器人系統，可以自動處理多個晶圓。CANON FPA-3000EX4還配備了一個集成冷卻裝置，以幫助保護敏感的光學元件免受加熱芯片的影響。該冷卻機包括一系列吸熱風扇單元、熱電百葉窗和一組散熱器。它還具有激光幹涉測量工具，可以檢測和測量透鏡表面角度的變化。這確保了光刻工藝的準確性，以更好的對準和成像。步進器能夠在一個晶圓曝光周期內執行多個處理步驟。這包括應用抗蝕劑、曝光、晶片硬化和剝離暴露的圖樣。它具有光束掃描同步控制和可選的曝光時間設置,以進一步優化陣列制作過程。FPA-3000 EX4能夠為先進的區域性結構生產微觀元件，如薄膜、先進的圖樣和較小基板上的高分辨率圖樣。此外,此晶片步進器為研究和設備生產相關應用程序提供動態性能、更高的吞吐量、更高的準確性和降低成本的好處。