二手 CANON FPA 3000 EX5 #9114042 待售

CANON FPA 3000 EX5是一種先進的高性能晶圓步進器，用於制造半導體器件。這種晶片步進器是專門為了在矽晶片和半導體薄膜等基板上建立極精確的圖樣和結構而設計的。該設備具有5nm的超高分辨率,對於需要制作詳細圖樣和結構的研究人員和科學家來說,它是一個極好的選擇。CANON FPA-3000EX5配備了先進的光學器件，特別是高性能浸入式物鏡和高NA控制系統，可以精確聚焦光束並確保圖樣精度。除光學器件外，該單元還裝有一臺先進的高靈敏度電荷耦合器件（CCD）相機，分辨率為6.2兆像素。這為研究人員提供了一個強大的工具來測量非常高精度的微小特征。該機器還可以配置最多三個獨立的曝光頭，可用於在單個設置中精確對齊多個晶片。這使得該工具可以在一個步驟中對多個基板進行成像和陣列,從而顯著提高吞吐量和成本效益。FPA 3000 EX5利用多種掃描方法來確保每個模式都被精確復制。通過廣泛的掃描速度，研究人員可以確保他們充分利用自己的時間。掃描率可以達到100毫米/秒以上，讓研究人員提高生產力。資產還提供了在非高斯模式和高斯模式之間的選擇，允許他們為自己的特定應用選擇最佳方法。FPA-3000EX5還具有多種接口,使用戶能夠輸入數據並遠程控制模型。這使用戶能夠快速輕松地對設備進行編程以滿足他們的需求,使其成為高級工業應用的寶貴資源。最後,系統的設計是為了實現長期的可靠性和可重復的準確性,從而確保即使是最小的細節也能得到一致的制作。這些功能已將CANON FPA 3000 EX5牢固地確立為先進、可靠且經濟高效的晶圓步進器。