二手 CANON FPA 3000 EX6 #293817785 待售

CANON FPA 3000 EX6是為半導體生產研發而設計的晶圓步進器。它是一種先進的步進器，具有6倍的減速率，提供更高的均勻性和叠加性能，並且能夠處理多達300毫米的晶圓。佳能FPA-3000EX6是最新一代的佳能現場驗證光刻設備.它是一種突破性的緊湊步進器，能夠實現高精度光刻性能。它減少了6倍,可顯著提高準確性和統一性。利用這6倍的減小比和更高的叠加對準精度，產生小至1.5 nm的幾何缺陷。該系統還具有從365nm到248nm的各種特殊光刻膠曝光波長。FPA 3000 EX6采用專門的掩碼成像方法,提供卓越的掩碼精度和均勻性。專門的光學單元和無掩碼光刻技術提供了盡可能高的精度和均勻性。它還具有先進的高速掃描階段，可以移動到4mm/sec，並在10秒內精確掃描晶圓。該機器設計為提供最高級別的過程控制,具有許多集成功能和高級過程控制工具。它具有方便用戶友好的操作員界面，可進行直觀控制。該工具配備了最先進的高度可靠和堅固的Quattro系列軟件和過程控制模塊。在靈活性方面,FPA-3000EX6可以輕松配置和升級。它通過多次曝光提供了廣泛的OPc、叠加、間距和對齊控制,還提供了在各種工作階段、卡盤和基板對齊選項、字段大小和位置精度方面的靈活性。該資產設計為在清潔室內運行，以盡量減少汙染。該型號通風至1萬級，可連接惰性氣體供應。「Advanced Cooling Equipment（高級冷卻設備）」可確保在惡劣的環境中工作時保持正確和穩定的工作溫度。佳能FPA 3000 EX6提供無懈可擊的工藝性能、靈活性和用戶友好操作。它是先進半導體和納米技術制造商的理想選擇。