二手 CANON FPA 3000 i4 #293587251 待售

CANON FPA 3000 i4是一種組合掃描儀、步進器和光刻設備，旨在提供先進、高性能的光刻曝光能力。該系統專為處理涉及高級光學成像和圖樣的各種應用而量身定制，包括光掩模和晶片的標線和非標線曝光。CANON FPA-3000I4可用於多個行業，包括半導體、生命科學、生物技術和光電子研發。該單元可提供可重復和可靠的結果,並為各種工藝和材料提供卓越的圖像質量。為了提高性能,FPA 3000I4采用了最新的成像技術,包括深紫外線佳能ARCOS和矢量掃描支持,可實現高達150 mm/秒的掃描速度。該機采用先進的3軸光級和F-Theta透鏡，在整個過程中提供高度精確的對準和聚焦。這樣可確保每次曝光時都能精確、準確地將圖樣暴露在加工材料中。此外,FPA-3000I4還配備了高精度對準工具,可提供± 1 µm的精度,精度指數為0.2µm或更高。FPA 3000 I 4的設計非常可靠,可提供一貫準確穩定的曝光性能。為此,該資產提供了多種功能,可確保整個暴露周期的過程穩定。這包括堅固的真空模型、閉環輸送機控制設備、可靠的電源和精密的溫度控制系統。該單元還提供了許多用戶友好的功能，方便操作。它提供了用於控制圖像參數和曝光設置的直觀圖形用戶界面（GUI）。此外,該機器還支持多種數據格式,包括GDSII、OASIS和TIFF。對於精確的光刻曝光,CANON FPA 3000 I 4提供了先進的成像和陣列技術、精確的對齊功能以及用戶友好的功能的組合。這使得它成為各種行業的理想解決方案。