二手 CANON FPA 3000 i4 #293604649 待售
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ID: 293604649
晶圓大小: 6"
優質的: 1995
i-Line stepper, 6"
Absolute distortion NA 63 sigma 65:
DX: ≤0.050 µm
DY: ≤0.050 µm
Focus range: <0.25 µm
Mag range: <2 ppm
Resolution:
L/S: 0.35 µm
Depth of focus:
0.35µm L/S and 0.5µm ISO: ≥0.8 µm
Image field deviation:
0.35µm L/S and 0.5µm ISO: ≤0.5
Missing lots parts
1995 vintage.
CANON FPA 3000 i4是晶圓步進器，一種用於半導體制造的光刻設備。這種步進器利用了強大的syncroscan系統和獨特的4束光源，為批量生產提供了卓越的成像性能。該設備具有高吞吐量、出色的覆蓋精度和許多其他高級功能。CANON FPA-3000I4步進器配備了4束投影鏡頭和同步掃描鏡掃描儀。該機采用0.5 NA鏡頭供電，提供卓越的均勻性、小光斑尺寸、高對比度。這樣可以打印單梁系統難以實現的小形狀。它采用先進的光學和算法,從而實現更快的掃描和成像速度。該工具還具有高精度X-Y級,用於精確定位和可追蹤性。該階段由魯棒控制算法支持，並確保快速和精確的移動。它可以移動到3000 nm/s。此外,它的分辨率為0.02 nm,實現了比以往更小的特征尺寸和更高的精度。FPA 3000I4還采用微凹凸對準技術，允許平滑的基板放置和快速的對準優化。該資產可配置為容納尺寸不超過8英寸的晶片,並且能夠每小時處理多達16個晶片。該模型附帶了一個軟件包,該軟件包提供了具有直觀工作區控制的直觀UI。總體而言，FPA 3000 I4是一種非常先進的晶圓步進器，設計時考慮到了批量生產。它提供卓越的成像性能和吞吐量,以及精確的對齊和可追蹤性。該設備非常適合尋找可靠、高效的光刻解決方案的生產設施。
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