二手 CANON FPA 3000 i4 #293605760 待售

CANON FPA 3000 i4是一款用於半導體制造的高端EUV（Extreme Ultra-Violet）光刻掃描儀。它是一種可靠且先進的晶圓步進器，旨在提供高精度的光刻工藝。I4具有雙柱結構，由兩級掃描平臺和高度集成的晶圓處理系統組成。它還利用CANON 'Roll-Scanner'技術。這意味著圖像數據在晶圓表面曝光後進行電子註冊，從而能夠快速準確地傳輸和註冊。佳能FPA-3000I4晶片步進器具有波長為13.5nm的激光源，可以在晶片上更精確、更精確地放置圖樣。i4還包含了高達12kHz的高重復率，允許在單發中進行大的曝光。i4提供高吞吐量速率,可實現高達400 wpm（晶圓/分鐘）的生產力提升。這是由於數據的高重復率和快速傳輸，以及在兩個值班周期之間的準備時間短。晶圓步進器還有一個極好的共振掃描系統，使加速度和振動造成的圖樣失真最小化。這樣可以在器件圖樣形成中實現高精度。最後采用低熱漂移和獨立的穩定透鏡系統，幫助防止像差和失真。這樣可以確保晶片上的圖樣準確曝光，從而提高半導體器件的產量和成本效益。綜上所述，FPA 3000I4晶片步進器是一種先進可靠的光刻機，適用於制造高端半導體器件。