二手 CANON FPA 3000 i4 #293607519 待售
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ID: 293607519
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
i-Line stepper, 8"
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
1994 vintage.
CANON FPA 3000 i4是來自CANON的晶圓步進器，用於半導體製造和測試。該設備具有內置的4軸對準系統，可確保晶片精確對準光照和激光對準。它能夠創建低至0.2微米的特征大小,並且最大分辨率高達0.5微米像素。該單元的獨特特征之一是NDUV（近紫外線）光源，它既提供長波長（UV-A），又提供短波長（UV-B）照明。這允許對比和銳化圖像和精確的測量，即使在使用難以分辨的半導體材料如銅和高k電介質時也是如此。步進器利用先進的掃描機，準確聚焦精細細節，防止圖像塗抹。它能夠以高達2.3 µm/s的速度掃描，明顯快於傳統的高端步進器。此外,它還可以支持多種光學元件和鏡頭,包括NA高達0.5的鏡頭。該工具可以與幾種不同類型的檢測設備集成，包括CCD攝像頭。此外，它還具有許多環境控制，如溫度、濕度和惰性氣體，以獲得準確和一致的結果。CANON FPA 4000 i4也是可擴展的，並且允許增加各種其他傳感器和設備。最後,資產具有多種安全功能,包括防塵、快門控制和自動關機。它還包括操作員健康監測，以確保在潔凈室環境中使用安全。佳能FPA-3000I4是一種尖端晶片步進器，能夠以高精度和高速度測量和曝光半導體晶片到納米級。通過其功能和通用平臺,它是跨多個行業的IC解決方案的理想選擇。
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