二手 CANON FPA 3000 i4 #9121236 待售

CANON FPA 3000 i4是一種精密晶圓步進器，配備了一系列特性，可以進行高精度、高通量的生產。該設備專為生成高級3D IC、微加工、光學元件和其他高精度應用而設計。CANON FPA-3000I4利用高性能的i-line源進行優化,以產生最佳的均勻性,並選擇從4、6和8英寸晶片中選擇,最小卡盤尺寸為150 mm,最大為450mm。FPA 3000I4采用獲得專利的兩步雙曲鏡系統（TMMS）技術進行設計,該技術允許在整個曝光領域提供出色、均勻的照明。這是由微透鏡陣列增強的，該陣列的設計目的是將曝光場限制在必要的尺寸，同時也提高聚焦深度。這確保了接觸結果的最大準確性和可重復性。FPA-3000I4還采用專有光學技術，減少像差，消除對準問題。這包括一系列復合對稱透鏡、偏振分束器、一組棱鏡和虹膜組件。這使設備能夠有效地維持光路內的像差，並精確控制光的波前誤差。這樣可以確保晶片在操作過程中的高精度曝光。FPA 3000 I 4還具有模具曝光控制功能,可優化曝光精度以提供每臺設備的高質量圖像。該設備采用自動晶片處理系統，允許透鏡晶片對準和對焦。除此之外，該裝置還具有150毫米的卡盤直徑，每卡盤負載容量為4kg。這樣可以確保設備能夠處理各種工業應用。CANON FPA-3000 I 4配備了許可的軟件套件,允許用戶使用曝光計算、組成和模式生成以及完整的數據分析。該設備還具有板載過程監視器,可進行簡單而有意義的曝光數據分析。除此之外，該裝置還設計了安全系統，以降低系統受損的風險，並確保平穩運行。CANON FPA 3000I4是一種頂級精密晶圓步進器。它具有多種特性,可確保最高的精度和吞吐量。這包括高性能的i-line源、TMMS Technology、微透鏡陣列和減少像差的專有光學技術等功能。此外，它還配備了自動晶片處理、軟件套件和車載過程監控器，用於全面數據分析。所有這些功能結合在一起,確保用戶能夠獲得最高質量的結果。