二手 CANON FPA 3000 i4 #9121238 待售

CANON FPA 3000 i4是市場上精度和尺寸能力最高的晶圓步進器。這種全自動設備是一種裝有CANON原始技術的光子光刻步進器，如先進的大規模集成（A-LSI）裝置及其專有的掃描機制，在其領域提供高性能和可靠性。該系統由一個主單元、一個光學頭和一個模式發生器組成。主體為確保穩定性和準確性的重型框架。它還配備了精密進給機構，保證了光頭在三個維度上的平穩運動，最佳定位精度的高精度計量單元，快速、高效、精確掃描的圓柱形電機。光頭由一階像差校正鏡片機組成，在25 mm的晶圓直徑上提供4 nm線寬的卓越圖像質量和分辨率。具有加熱功能的環境室也是光學頭的一部分，以確保最佳的工作條件和穩定的過程。模式發生器是一種投影光學元件，用於將電路模式傳遞到晶圓上。它配備了雙像素芯片，以實現快速的處理速度和測序能力，使工具能夠配合各種電路模式和曝光。CANON FPA-3000I4能夠提供分辨率高達2.5 μ m的4nm線寬,非常適合各級半導體生產,包括高級封裝。其步進技術也適用於印刷、電子等多個行業的較大元件的制造。結合全自動環境和數字化操作,此資產可保證各種應用程序的最高精度和可靠性。