二手 CANON FPA 3000 i4 #9224170 待售
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已售出
ID: 9224170
晶圓大小: 6"
優質的: 1997
i-Line stepper, 6"
Reticle, 6"
Main frame
Lamp hose
D-rack
Transformer
Lamp: 2 kW
Field size: 22 mm²
Reduction ratio: 5.1
Exposure wavelength: 365nm
Lens performance: 0.63/0.65 Mode
Resolution: 0.35um L/S
Depth of focus: >0.7um
FD: < 0.04 um
Coma: < 4*-0.3 um Best focus / 5 Point
Astigmatism: < 0.25 um
Distortion: < 0.05 um
Lens matching: < -/+ 0.11 um
Lens heating magi: < 2 ppm
Lens heating focus: <0.3 um
Illumination performance:
Intensity: > 6500 W/m²
Uniformity: < 1.0%
Light integrator accuracy: < 1.0%
Masking accuracy: < +/- 100 um
Focus & leveling:
Static auto focus repeatability: 3Q < 0.10 um
Die by die repeatability: 3Q < 7 ppm
XY stage performance:
Stepping accuracy: 3Q < 0.04 um
Stepping repeatability: 3Q < 0.04 um
Scaling: < 0.5 ppm
Orthogonality: < 0.5 ppm
Alignment:
Reticle rotation:
Accuracy: < 10 nm
Repeatability: < 20 nm
AGA Mode 1&2: Mean +3Q < 0.06 um
Pre-alignment performance:
Mechanical pre-alignment accuracy: 3Q < 0.03 um
TV Pre-alignment accuracy: < 3 um
Throughput:
6" (Die by die): >83 wph
8" (Die by die): >58 wph
Known issues:
OPTF
Electrical fault
1997 vintage.
CANON FPA 3000 i4是一種下一代晶圓步進器設備，旨在為最苛刻的應用要求提供先進的光刻能力。它是同類工具中唯一能夠在0.2 μ m範圍內實現分辨率的工具,同時仍能保持較高的吞吐量和生產率。該系統配備了先進的照明和聚焦能力，以及自動對準和模式識別。i4步進器由主單元、標線處理機器人和光驅單元組成。主單元包含光刻過程的核心，包括晶片級、晶片電機、照明單元、投影透鏡和光掩模。晶片級提供光刻過程中晶片的自動化處理，可以控制搖擺、裝卸、舞臺定位和對準。晶圓電機用於在視場上驅動晶圓級，為高精度光刻提供精確、堅固和可重復的運動。照明單元由光源和成像光學器件組成。光源由一臺高功率紫外線或氟離子激光機和一臺光束成形的光學工具組成，該光源能提供均勻的光照和對焦和強度像差的校正。成像光學資產包括一個可移動的1X物鏡、一個用於冷凝和成像光束的透鏡以及一個多孔徑和散光光束成形單元。投影鏡頭由一套兩套鏡頭組成。第一組透鏡用於將成像光束聚焦到標線上，而第二組則用於將圖樣放大到晶圓上。鏡頭是電動的，可以用來改變晶圓不同區域上圖樣的焦點和放大倍數。光掩模是一種石英基板，塗有不透明透明層的圖樣，定義需要打印在晶圓上的圖樣。標線處理機器人和光驅模型負責將光掩模從標線級轉移到光學驅動設備，然後將掩模移動到投影鏡頭上進行光刻。該系統還具有一個自動對齊和模式識別單元，在打印前每次曝光時都能準確地將模式與標線對齊。CANON FPA-3000I4的設計可提供高吞吐量和高生產率,分辨率為0.2 μ m。自動對準和模式識別機使其成為高分辨率光刻的理想選擇,而先進的照明和聚焦功能確保了一致的結果。該工具非常可靠,可提供可重復的光刻結果,使其成為要求最苛刻的應用程序的絕佳選擇。
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