二手 CANON FPA 3000 i4 #9238727 待售

CANON FPA 3000 i4是為先進半導體制造而設計的高度先進、多級投影對齊器。CANON FPA-3000I4采用最新技術來創建精確的分辨率和對齊20-200納米組件。其先進的投影光學設備允許2納米的未校正分辨率，能夠精確放置和對準具有挑戰性的小型半導體元件，精確度很高。它與板載實時計量系統（RTSM）完全集成,該系統允許對組件進行主動3D對齊和註冊。FPA 3000I4具有極高的能源效率。它具有低噪聲、靜音冷卻裝置和各種創新照明系統；具有高效鹵素、Ar+金屬鹵化物和I線光源的四束照明機。這樣可以確保元件在各種晶圓尺寸和材料上的精確和均勻曝光。堅固而精確的機構能夠在各個方向實現高速而精確的移動，提供無與倫比的精度和可重復性。投影頭采用了高度精確的階段補償工具，結合先進的RTSM和高度精確的光學器件，可以精確放置到20納米以下的零件。FPA-3000 I 4還提供了一個全自動的應用程序開發環境,用戶可以在此環境中開發自定義軟件例程,以促進日益高效的半導體過程的推進和開發。最後,CANON FPA 3000I4還提供了重要的運營支持,包括資產可追蹤性功能和易於互換的組件,以簡化維護和升級。FPA還提供了安全可靠的操作，並便利了用戶培訓，從而能夠更快地進入復雜的光刻操作。