二手 CANON FPA 3000 i4 #9238745 待售

CANON FPA 3000 i4晶片步進器是晶片級光刻應用的理想半導體成像工具。該設備具有4種高度靈敏的投影光學元件,經過優化,可提供卓越的分辨率和高速工藝速度,且失真最小。CANON FPA-3000I4的完美層傳輸技術特別適合於無掩碼光刻應用,可確保精確的晶圓級操作精度和最小的邊緣劑量效應。為了確保卓越的圖像質量,FPA 3000I4采用40納米數值孔徑光學系統,使用自動測量工具進行自動對準和調整,以及有效的化學大衣,用於防疤痕和防刮擦的基板保護。此外，該單元還采用了先進的照明方法，如全均勻照明，以盡量減少投影模式的變化。刀具的內置過程控制、運動穩定性和過程監控功能都有助於實現產量最大化和成本降低,而其預先批準的過程機器配置消除了過程中的可變性。CANON FPA-3000 I4內置的其他性能增強器是其先進的舞臺表面溫度控制和輪廓技術,它通過補償非平坦表面提高了工藝效果。該工具流線型的特點和優越的特性使CANON FPA-3000 I 4成為半導體生產線中的寶貴資產,確保了高吞吐量和優異的光刻效果。利用這一資產，制造商現在可以實現低線端拉回、優異的CD均勻性、高分辨率線型、精確的叠加對齊，所有這些都以最小的劑量面積差異。此外,此工具旨在方便模型擴展和升級,使FPA-3000 I 4成為尋求可靠、經濟高效和生產性光刻解決方案的行業的理想投資。