二手 CANON FPA 3000 i4+ #9256525 待售

CANON FPA 3000 i4+是一種最先進的高容量晶圓步進器，旨在滿足先進半導體制造行業的嚴謹需求。它包括一個超精確的光學設備，用於將光掩模陣列化到晶片上，以及一個多區域自動對準系統，以確保生產批次的準確性和可重復性。該單元提供高達175W的照明功率，適用於復雜的高分辨率成像甚至最復雜的圖樣。它有兩個光學對準階段，每個階段由三個軸組成，允許精確的尺寸登記光掩模和晶圓。兩個高解析度相機包含微米級掃描解析度。晶片步進機具有超精密、高度可重復的計量系統，其中包括自動掃描以及曝光時晶片和掩模的比較。FPA 3000i4+具有低於100 nm的分辨率成像能力,最佳分辨率為80nm。它利用先進的多區域曝光算法來保證高產率，通過內置的掩蔽叠加進一步增強。隨附的光學工具提供高精度和可重復性與最小化色差和像差。它包含一個自動化的晶圓送料資產，高吞吐量和優越的晶圓處理。步進器還具有一個新的最大垂直移動模型,該模型允許最多20 mm的移動,從而在復雜的晶圓幾何上實現3D陣列。這種先進的步進器還有一種用於可縮小縮放的先進啟發式設備，可以實現百萬分之一的缺陷等級。它具有直觀的用戶界面,能夠進行自定義編程控制,以及用於故障排除和監視的遠程訪問選項。CANON FPA 3000 i4+專為可擴展性而設計,並提供可升級功能,以適應不斷變化的制造技術和需求。它與廣泛的基材兼容，可以處理直徑從200毫米到450mm不等的晶片。它是滿足晶圓加工要求的高效可靠的解決方案。