二手 CANON FPA 3000 i4 #9361809 待售

CANON FPA 3000 i4晶片步進器是一種用於精密半導體生產的高分辨率高速光刻設備。它設計用於處理4英寸和更大的半導體晶圓，最大分辨率為0.25 µm。它還能夠高效地高速暴露大面積的標線，使其成為大批量生產的理想選擇。該系統基於使用掃描步進器精確移動晶圓的預對準級。它可以配置兩種鏡頭：0.6 NA鏡頭或0.7 NA鏡頭。這提供了更高的分辨率和圖像質量,使掩模制造商能夠在各自的領域保持競爭力。佳能FPA-3000I4還有一個用於精確和可重復對準的自動對焦單元。此功能可確保每個蒙版正確對齊,並且曝光過程始終準確無誤。自動對焦機還有助於減少停機時間,因為它可以在曝光前快速高效地設置每個掩模。步進器還包括改進對比度和高吞吐量的先進成像工具。此資產包括一個先進的數字圖像處理器,它通過校正漸變和模糊以及減少與校正鏡片像差相關的開銷來幫助最大限度地提高吞吐量。它還具有先進的降噪算法來減少殘余圖像噪聲量。FPA 3000I4還集成到各種後端過程中，如自動清洗和曝光後烘烤。步進器有兩個高扭矩晶片旋轉器，自動旋轉晶片並提供精確且可重復的清洗。該模型還有一個曝光後烘焙站，可以精確控制溫度和濕度，並確保特征大小在多次運行中保持一致。最後，步進器包括一個先進的數據收集和分析設備，可以存儲和分析從多達25,000晶圓的結果。這使系統能夠監測生產趨勢，及時發現任何異常或缺陷，並優化工藝參數和配方以提高產量。總體而言,CANON FPA-3000 I 4是一種可靠且高效的晶圓步進器,旨在滿足要求最苛刻的半導體光刻和電子產品生產要求。它能夠生產遠低於0.25 µm的特征尺寸,是高分辨率成像和大批量生產的絕佳選擇。