二手 CANON FPA 3000 i4 #9384534 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9384534
優質的: 2000
i-Line stepper
Reticle, 6"
EWS: 715/100
X-Terminal console
A/F Type-6: Right
W/F Size: 8"
PA Type: Flat
Library 12-Slot
Option: PPC
Cassette type: NIKON
Mount: Passive damper
BB Halogen lamp
Illuminatior: 2 kW
RASCO TBW-CD-83 Clean chamber
Lens edge distortion: U Lens
MO Drive
With CF Type
PCB and P/S Missing
Wafer stage:
Type: Air bearing
ZYGO Laser interfermeter
Chuck type: Pin
Image rack:
Part number / Description
BG4-6632 / TV Image CPU
BG4-9715 / ADP PCB
BG9-4084 / ACC1 PCB
BG9-4085 / ACC2 PCB
BG4-9716 / IMP2 PCB
BG4-6582 / HRD Processor PCB
VME Rack:
Part number / Description
BG4-6628 / Cam unit
BG4-6626 / Main CPU PCB
BG4-8817 / M-RGEN
BG4-6631 / CD I/F PCB
BG4-6629 / X, Y Stage CPU PCB
BG4-8818 / S-RGEN
BG4-6456 / Stage DSP
BG4-6465 / Measurement PCB (X)
BG4-6466 / Measurement PCB (Y)
BG4-6467 / Measurement PCB (Θ)
BG4-6457 / X, Y Pre PCB
BG4-6459 / OFCD IF PCB
BG4-6460 / PIEZO Analog PCB
BG4-5459 / PIEZO Drive PCB
BG4-6603 / CCD OPTF CAP2 PCB
2000 vintage.
CANON FPA 3000 i4是一種先進高效的晶圓步進器，利用紫外投影光學設備和現代光刻技術，將光掩模精確地圖樣到晶圓上。此高級設備具有多種功能,可最大限度地減少缺陷,最大限度地提高流程吞吐量,並提供快速吞吐量,從而縮短總處理時間,從而提高設備產量。步進器利用鏡頭元件與先進掃描儀的組合，達到盡可能高的精度水平。鏡頭元件為設備提供了高達0.72的數值光圈，並提供了從1到4的最先進的衰減比。步進器還能夠處理正反比和負反比類型,以及在高光強度和低光強度下實現圖樣叠加。該設備具有改進的光學系統,可提供小功能,如線端邊緣,以及成像場上的大偏振、扁平和均勻性。而且，它具有半放牧的發生率，提高了透鏡的光利用率，顯著減少了光掩模的重叠。這使得該設備適合廣泛的光掩模，甚至更復雜的圖案。CANON FPA-3000I4配備了模式對準系統，使其能夠準確處理幀和現場成像。兩種模式對準系統分別用於幀和場成像。框架對齊單元可以通過比較三個點來對齊整個框架，而場對齊機可以識別出與框架對齊工具相比較小的特征。該設備還提供了一系列用於標線掃描、偏轉和聚焦的選項，包括高效矩形掃描光學器件、高性能偏轉器光學器件和高精度自動對焦光學器件。這些功能共同使設備能夠處理具有較大公差和高精度的各種模式。FPA 3000I4還提供了一個強大的光刻工藝，這是一個重要的特點，因為光刻是器件的核心。設備中使用的風冷燈產生深紫外線，在光掩模上形成圖案，有助於降低出現缺陷的風險。此外,還可以高效更換這些燈,而無需調整或調整其他光學元件。總體而言,FPA-3000 I 4是一種先進的晶圓步進器,它提供一系列功能,可提高流程效率、減少停機時間和加快吞吐量。它利用一系列光刻和圖樣對齊技術來創建高精度圖樣,並具有許多有助於降低缺陷風險和提高設備產量的功能。
還沒有評論