二手 CANON FPA 3000 i4 #9402495 待售

CANON FPA 3000 i4是一種5軸晶圓步進器件，設計用於半導體制造和研究的先進光刻應用。它具有獨特的線性加速度/減速機構以及9軸運動設備,用於3D場校正,使其能夠在光學光刻應用中提供最高分辨率。集成成像電路和內置光學系統確保晶片級的精確對準，從而提高吞吐量和可靠性。CANON FPA-3000I4的自動對準單元使用兩組自動對準傳感器來實現掩模和晶圓級之間的快速、精確對準。本機采用激光偏轉器和激光信號接口進行適當的鏡頭定位和光束對準。此外，這種工具能夠處理各種各樣的晶片類型，提供步進編程的專門知識和增強晶片性能；兩者均可用於圖案化晶圓的制造。此外,FPA 3000I4還配備了5倍還原掃描儀,可實現更精確和更高分辨率的成像。其緊湊的設計最大限度地減少了操作空間，減少了振動，提高了精度。此外,FPA-3000 I4捕獲和保存模式的速度比傳統的掩碼寫入步進器快20倍。它還提供了一流的光刻操作，如曝光、顯示和模式優化。CANON FPA 3000I4先進的冷卻資產確保了適當的熱管理,提供了穩定的操作環境。該模型還具有先進的監控功能，如基於晶圓條件檢測、測量和調整溫度的動態溫度校正系統。通過利用其自適應曝光指導，用戶即使在具有挑戰性的光刻應用中也能獲得最高的產量。FPA 3000 I 4也符合多個行業標準，如SEMI E-170和SEMI E-182，支持接受/拒絕排序。CANON FPA 3000 I 4是用於半導體制造和研究的理想設備,因為它為用戶提供了一個用於陣列晶圓制造的先進平臺。它為固定掩模、大批量生產和LED光刻應用提供了精確、靈敏度、速度和效率。憑借其直觀的控制和一流的功能集，這款晶圓步進器為用戶提供了推進其半導體生產需求所需的所有必要設備。