二手 CANON FPA 3000 i5 #293606923 待售

CANON FPA 3000 i5晶片步進器是一種先進的光刻設備，設計用於生產高質量的光掩模和晶片。該系統采用高功率可變數值光圈（NA）投影鏡頭，舞臺精度可調，結構復雜，過程控制出色。該單元采用集成的高動態範圍（HDR）成像技術,在片上功能方面提供了更詳細的信息,從而提高了復雜電路布局的屈服率。該機具有5軸機動化的多向對準級和強大的對焦控制器，用於精確的對焦控制。CANON FPA 3000I5還提供無與倫比的處理速度,掃描速度高達900um/s。這及其高NA可確保高吞吐量,並使該工具非常適合大批量生產運行。其先進的步進控制器提供了更好的過程控制和增強的自動化能力。該資產還能夠生產分辨率高達125 nm的高精度口罩。FPA-3000 I5還提供各種高級功能,例如特征識別、對齊和註冊技術。自動化功能使模型能夠在單個操作中快速檢測並準確地將多個特征放置在光掩碼上。內置的縮放和平移功能提供了更詳細的精度級別。該設備還可與亮場、暗場、顯微鏡等先進檢測系統配合使用，以確保高質量、高精度。FPA 3000I5是一個高度可定制的系統,可以輕松定制以滿足用戶的需求。它擁有廣泛的兼容附件和軟件應用程序，提供了集成到各種流程和系統中的能力。該設備可靠,性能卓越,是光掩模生產的理想選擇。