二手 CANON FPA 3000 i5 #293607520 待售
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ID: 293607520
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
i-Line stepper, 8"
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
1997 vintage.
CANON FPA 3000 i5是一種高性能、光學處理器，用於生產大型集成電路。它是一種最先進的晶圓步進器，旨在生產具有卓越精度、精度和速度的大型集成電路（LSIC）。這臺機器的特點是其5軸掃描設備、高分辨率5 µm光學器件以及6秒的快速掃描速度。它配備了視覺控制系統技術，該技術集成了視覺單元組件，使組件能夠精確對準和放置在晶圓上。CANON FPA 3000I5由一個通用平臺組成,它提供一組基本組件,如光學、電子、驅動單元和視覺系統。光學元件包括Lumicron L i5-L3照明器、Magnicon L i5-H3、蔡司Kg-10i5透鏡、Oriel L7-E3、Lumenatech和模塊化照明器。這些光學器件可實現高精度成像、高分辨率檢查和極快的掃描。電子包括高速數字處理和控制機器，提供最大精度和控制。驅動單元由大功率步進電機組成,驅動機械單元進行掃描和定位,提供平穩、準確的處理。視覺軟件允許對晶圓內的組件進行高級檢查和對齊。FPA-3000 I5適用於許多大批量生產過程和應用。該工具具有高精度的5 µm光學器件，圖像偏移和失真小於1 µm，高速掃描6秒，高精度對準IC生產。FPA 3000I5可以處理各種尺寸的晶片，包括200毫米、250毫米、300毫米和450毫米。它還實現了高精度的矽片處理，具有可變的覆蓋精度和吞吐量性能。以其革命性的技術，這種晶片步進器是復雜的IC生產應用的理想選擇。
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