二手 CANON FPA 3000 i5 #293615951 待售

CANON FPA 3000 i5是為半導體生產而設計的晶圓步進器。它能夠測量和生產包括芯片和MEMS在內的各種組件。步進器融合了廣泛的先進技術，包括i線、氟化k（KrF）準分子激光器和高度精確的放大級。該設備能夠生產缺陷最小的高質量元件，是大批量生產的理想選擇。CANON FPA 3000I5配備了i-line準分子激光器，方便高速晶圓切割。這項技術允許每小時高達1500個晶圓的快速高效曝光。此外，使用KrF準分子激光器可以獲得更高的曝光結果和更小的線寬。步進器還將高精度放大級與增加曝光均勻性的機制結合在一起。這項技術允許精確可靠的晶圓級曝光。除了高曝光能力外,FPA-3000 I5還配備了先進的Z軸,可實現高精度和精確的步進性能。該裝置還配備了廣泛的自動化能力，用於高效和高速生產。此外,它還采用動態自動對焦（DAF）技術來確保組件的統一集成和提高吞吐量。這項技術還可以實現快速曝光鏡頭變化和減少口罩對準時間。此外，佳能FPA-3000 I5有一個高精度的曝光控制器，確保穩定和高效的過程結果。該裝置配有先進的熱管理系統，可調節和監測晶圓的環境，保持溫度和濕度水平穩定。這項技術有助於保持高處理晶片質量並防止暴露錯誤。FPA 3000I5是一種可靠、高效的步進器，適用於廣泛的元件生產。它具有先進的能力和最先進的自動化技術,使其成為大批量生產的理想選擇,並以最佳的產量利用更高效的流程。其高精度的曝光控制器確保穩定可靠的性能,而先進的熱管理系統則有助於保持高質量的結果。