二手 CANON FPA 3000 i5 #293615952 待售

CANON FPA 3000 i5是一種具有高端光學性能的全場晶片步進器，用於跨多種技術的先進晶片處理。它旨在提供高精度晶圓圖樣和檢查能力，提供高達每小時200個晶圓的輸出。CANON FPA 3000I5具有500萬像素步進頭,具有1到1像素間距和95 nm分辨率,使其能夠實現極其精確的圖像放置和對齊。它配備了兩臺高速、可動態重新配置的步進電機，確保了快速準確的晶圓定位和對準。FPA采用快速、高通量的光學系統,包括五個鏡頭和一個6位機動化鏡像陣列,可提供多種模式尺寸和模擬分辨率規格的高分辨率成像。它可以加工從GaAs、Si、SOI到石英和先進的有機光伏材料的一系列材料。FPA-3000 I5配備了一個集成的晶圓級傳感器，用於晶圓邊緣對準和低功率近距離感測。它還配備了嵌入式暗場圖像捕獲機制，用於先進的晶圓檢測，使晶圓表面檢查能夠嵌入步進模式操作中。此外,步進器可支持多達四條用於模擬目標定位的PI曲線,從而實現自動特征對齊。CANON FPA-3000 I5采用1000級潔凈室環境進行設計,以確保最高的可靠性和操作穩定性。可選擇一個亞環境幹室，以進一步提高晶圓的平整度和減少微粒汙染。步進器附有直觀的使用者介面，讓許多晶圓運算可以輕鬆設定，並以最小的使用者幹預來調整。FPA 3000I5是一種高效可靠的晶圓步進器，具有高精度和精確度，吞吐量快。無論您的目標是提高設備制造過程的產量和性能,還是開發最先進的光電材料,FPA 3000 i5都是滿足您需求的理想系統。