二手 CANON FPA 3000 i5 #293615953 待售

CANON FPA 3000 i5是一種晶圓步進器，旨在為先進的半導體應用提供卓越的性能。它利用光學、光刻和運動控制技術方面的最新創新，以產生比傳統光刻方法更小、更精確的特征。CANON FPA 3000I5具有精確對齊的步進級,由高性能語音線圈電機和精密鎢線形編碼器驅動。這樣可以對基板和鏡片進行高度精確的定位,並具有出色的可重復性。步進器能夠處理大範圍的基板和透鏡尺寸。借助FPA-3000 I5,用戶可以通過選擇可選的鏡頭組件、可調節高度的步進級和額外的鏡頭來調整微光刻設置,以適應直徑可達800毫米的大磁場尺寸。步進器還具有高分辨率對準設備，使用戶能夠在系統運行前精確對準鏡頭和基板。該單元還可以檢查光刻工藝每個步驟的對準精度。步進器提供了廣泛的照明系統，包括傳統的弧光燈和先進的i-line和KrF ArF準分子激光器。這使用戶能夠受益於更高的吞吐量、更好的圖像分辨率和改進的生產過程。CANON FPA-3000 I5配備了多種晶圓處理工具，如晶圓盒式裝載機和機器人基板處理機。它還具有先進的內置自動維護功能，如自清潔。步進器提供先進的光刻軟件套件，帶有控制器、模式對齊、布局驗證、微觀檢查、工藝優化以及運動控制的軟件工具。用戶友好的界面提供了對這些特性和功能的輕松訪問。此外,FPA 3000 i5還使用戶能夠訪問各種獨特的功能,如自動晶圓識別和鑒定、數據記錄和分析以及溫度控制。該工具提供了一系列全面的報告和統計數據，以確保最佳性能。FPA 3000I5是一種堅固可靠的晶圓步進器，旨在優於半導體行業的競爭技術。憑借其先進的技術和能力，該資產提供了優於傳統光刻技術的性能和更高的吞吐量。